電感耦合等離子體光譜儀發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
電感耦合等離子體光譜儀的重點維護部件
1 環境
本儀器要求一般室溫維持在 20～25 攝氏度之間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1 攝氏度。室內濕度應小于 70%，好控制在 45%~60%之間，并配有空氣凈化裝置。
2 供電線路
為了保證ICP 儀的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運行時線路的電壓將過大，影響儀器壽命。電路環境的具體要求請參考《儀器安裝條件》。
3 防塵
實驗室內需要采用排風機，排除儀器的熱量及工作時產生的有毒氣 體時，實驗室與外部就形成壓力差， 實驗室產生負壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內，大量積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經常進行除塵。特別是計算機、電子控制電路、高頻發生器、顯示器、打印機、磁盤驅動器等，定期拆卸或打開， 用小毛刷清掃，并同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負高壓電源線、及計算機顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許*小心的抹除積炭和灰塵。磁盤驅動器及打印機清出灰塵之后，要在機械活動部件滴加少許儀表油。打印機的打印頭還要拆下，用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調整一定的打印壓力。對于儀器除塵，一般由電子，儀修或計算機的專業人員幫助，儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不了解儀器結構，不要輕易觸動，以免發生意外，除塵應事先停機并關掉供電電源后再進行。
4 霧化器的維護
霧化器是進樣系統中脆弱，關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩定，也影響反射功率，
因此，要定期用酸洗，水洗，后，用無水乙醇潤洗并吹干，并保持進樣系統及炬管的清潔。
5 使用中盡量減少開停機的次數
開機測定前，必須做好安排，事先做好各項準備工作，切忌在同一段時間里頻繁開啟，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，
容易造成功率管、真空電容以及其他芯片的損傷。
6 其他注意事項
(1)進樣前進樣系統的檢查；
(2)測定后進樣系統的檢查和清洗；
(3) 廢液桶中的廢液要經常清理；
(4)炬管，霧化器，霧室的清洗；
(5)冷卻水的定期更換；
(6) 每次開機前請注意：當等離子氣小于 1Mpa，只能點火一小時時，建議請更換氣瓶；
(7) 儀器點燃后不能隨便調整等離子氣的流量計和壓力表，否則會燒壞石英炬管；
(8) 儀器點燃后進樣毛細管必須放在溶液中，更換溶液時毛細管離開液體(進空氣)不能超過 10 秒， 否則會導致熄火；
(9) 如發現石英炬管內很臟時請及時清洗；
(10)拆裝炬管、噴霧器、霧室時注意輕拿輕放(石英玻璃制品易碎)。
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